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MEMS薄膜型吸氣劑

  • MEMS薄膜型吸氣劑 - 2-1
MEMS薄膜型吸氣劑
型號 - 2-1
適用於MEMS的薄膜型吸氣劑
用於MEMS的薄膜吸氣劑材料是專門設計用於MEMS真空封裝的產品。對於晶圓級(PageWafer®)和單一元件的(PageLid®,PageSheet®)MEMS封裝,SAES提供了多種不同的解決方案,以實現高真空性能,長期穩定性和器件設備可靠性。MEMS的薄膜型吸氣劑是用於維持真空並控制MEMS氣密的常見方法(例如國防和安全,汽車,工業和消費類電子產品),是一種已被廣泛使用的技術。

特點:
  • 高真空
  • 長期穩定性
  • 對所有活性氣體均具有高吸附能力
  • 活化溫度與所有主要封裝程序兼容
  • 各種圖案化方法(hard mask,lift-off)
  • 無顆粒 (no particles)

應用產品:
  • 紅外傳感器
  • MEMS陀螺儀
  • 共鳴器/諧振器
  • 時頻設備/裝置
  • 高端壓力傳感器
義大利商塞斯吸氣劑股份有限公司台灣分公司
2-1
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