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NEG Coating 塗層真空

  • NEG Coating 塗層真空 - 7-5
NEG Coating 塗層真空
型號 - 7-5
IntegraTorr®是以創新的形式將非蒸散型吸氣劑(NEG)技術應用到粒子加速器真空腔體中,使NEG通過濺射方式沉積在真空腔體的表面。
由於此革命性的技術,使得原本通常是釋氣來源的真空腔體內表面,轉變為真空泵,提供真正分佈式抽氣系統。此外,IntegraTorr NEG塗層還可減少因離子,電子和光子轟擊而導致的放氣。
此外,透過SAES-RIAL Vacuum,提供完整的真空腔體成品與NEG塗層服務。從真空腔體的設計,製造,清潔,NEG塗層和測試方面,提供專業知識的建議與優良品質的保證。

特點:
  • 在狹窄腔室內提供均勻的高抽氣速度
  • 使真空腔體的設計更簡單(無需配置抽氣腔室;及更少的外部端口)
  • 可在低溫烘烤過程(180°Cx24h)達成激活
  • 大幅減少高溫和光子引起的放氣
  • 可以多次暴露在空氣中並重新激活

終端應用:
  • 粒子加速器
  • 重離子儲存環
  • 同步輻射設施
  • 真空插件
  • 光束線
義大利商塞斯吸氣劑股份有限公司台灣分公司
7-5
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