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CapaciTorr HV系列泵

  • CapaciTorr HV系列泵 - 7-1-3
CapaciTorr HV系列泵
型號 - 7-1-3
CapaciTorr“ HV”系列泵使用了新型ZAO高真空NEG合金,該合金專為在低至1e-7 Torr的壓力下吸收大量氣體而設計。與活性氣體做化學反應以無任何汙染的方式迅速移除腔體內的氣體,但不與惰性氣體及甲烷起反應。適合在高真空 壓力水平(1e-7 Torr或更低)下使用。

下表列出了具有不同尺寸和性能的CapaciTorr“HV”系列泵:

"HV"系列泵 合金種類 質量(g) 法蘭尺寸 長度(mm)
CapaciTorr HV 200 (CF 35) ZAO® 140 CF35 (2.75”) 245
CapaciTorr HV 200 (CF 63) ZAO® 140 CF63 (4.5”) 195
CapaciTorr HV 1600 ZAO® 690 CF150 (8”) 258
CapaciTorr HV 2100 ZAO® 1130 CF200 (10”) 266
 

"HV"系列泵 抽速 (l/s) 吸氣量 (Torr l)
H2 H2O O2 N2 CO2 H2 H2O O2 N2 CO2
CapaciTorr HV 200 (CF 35) 105 40 32 30 25 2800 400 200 200 40
CapaciTorr HV 200 (CF 63) 210 120 90 60 65 2800 400 200 200 40
CapaciTorr HV 1600 1700 1000 800 470 620 13800 1600 800 800 160
CapaciTorr HV 2100 2100 1500 1250 625 880 22600 2600 1300 1300 260
義大利商塞斯吸氣劑股份有限公司台灣分公司
7-1-3
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