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CapaciTorr D系列泵

  • CapaciTorr D系列泵 - 7-1-1
CapaciTorr D系列泵
型號 - 7-1-1

CapaciTorr“D”系列泵使用高孔隙活性燒結合金的NEG (Non-evaporable getter)材料製成,與活性氣體做化學反應以無任何汙染的方式迅速移除腔體內的氣體,對於氫氣則是將其溶解於孔隙之中,但不與惰性氣體及甲烷起反應。
適合在UHV / XHV壓力水平(10-9 Torr和更低)下使用。

下表列出了具有不同尺寸和性能的CapaciTorr“D”系列泵:

 “D”系列泵 合金種類 質量(g) 法蘭尺寸 長度(mm)
 CapaciTorr D 100 St 172 7.8 CF35 (2.75”) 44
 CapaciTorr D 50 St 172 13.5 CF35 (2.75”) 65
 CapaciTorr D 200 St 172 28 CF35 (2.75”) 88
 CapaciTorr D 400 St 172 45 CF35 (2.75”) 132
 CapaciTorr D 1000 St 172 136 CF63 (4.5”) - CF100 (6”) 145
 CapaciTorr D 2000 St 172 225 CF100 (6”) - CF150 (8”) 195
 CapaciTorr D 3500 St 172 395 CF150 (8”) - CF200 (10”) 198


“D”系列泵 抽速 (l/s) 吸氣量 (Torr l)
H2  H2O N2 CO H2 H2O  N2 CO
CapaciTorr D 50 55 45 22 30 78 3.4 0.04 0.15
CapaciTorr D 100 100 85 40 60 135 5 0.1 0.25
CapaciTorr D 200 200 180 60 125 280 10 0.25 0.6
CapaciTorr D 400 400 290 95 180 450 16 0.5 1
CapaciTorr D 1000 1000 900 330 600 1360 60 1.5 4
CapaciTorr D 2000 1600 1600 420 1000 2250 84 2 5
CapaciTorr D 3500 3500 2600 900 1600 3950 >200 4.1 12
義大利商塞斯吸氣劑股份有限公司台灣分公司
7-1-1
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