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CapaciTorr系列介紹

  • CapaciTorr系列介紹 - 7-1-0
CapaciTorr系列介紹
型號 - 7-1-0
CapaciTorr® 系列泵使用高孔隙活性燒結合金的NEG (Non-evaporable getter)材料製成,與活性氣體做化學反應以無任何汙染的方式迅速移除腔體內的氣體,對於氫氣則是將其溶解於孔隙之中,但不與惰性氣體及甲烷起反應。

特點:
  • 對所有活性氣體都有很高的抽速,尤其對氫氣。
  • 吸收容量高,使用壽命延長。
  • 在高真空和超高真空下擁有穩定的抽速。
  • 體積小、重量輕,易於安裝拆卸。
  • 啟動後在室溫下工作無需電力。
  • 不受磁場干擾。
  • 無油無振動運行。

終端應用:
  • 粒子加速器。
  • 實驗室超高真空-極高真空系統。
  • 薄膜沉積設備。
  • 真空處理系統。
  • 移動式真空儀器或真空系統。
  • SEM,TEM,FIB,分析系統。
  • 擔心電磁場干擾或強電磁脈衝的真空環境。
  • 欲移除活性氣體,保留惰性氣體的真空環境。

系列產品:
CapaciTorr “D” 系列
  • 材料: St 172®燒結合金。
  • 適用壓力: 1e-9或更低的壓力。
  • 抽速: 從50到3500 l/s (對氫氣)
  • 法蘭尺寸: 從CF35到CF200。

CapaciTorr “Z” 系列
  • 材料: ZAO®燒結合金。
  • 適用壓力: 1e-9或更低的壓力。
  • 抽速: 從100到3500 l/s (對氫氣)
  • 法蘭尺寸: 從CF35到CF200。

CapaciTorr “HV” 系列
  • 材料: ZAO®燒結合金。
  • 適用壓力: 1e-7或更低的壓力。
  • 抽速: 從200到2100 l/s (對氫氣)
  • 法蘭尺寸: 從CF35到CF200。
義大利商塞斯吸氣劑股份有限公司台灣分公司
7-1-0
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